Hoge capaciteit PID-instelling Halve-geleideroven SEO-serie Luchtdichtheid

De halfgeleideroven met stikstof heeft een sterke universaliteit, hoge stabiliteit en hoge prestaties.heeft een speciale kamerstructuur en afdichtingstechnologie, met een uitstekende luchtdichtheid en temperatuuruniformiteit om te voldoen aan de hoge prestatievereisten van halfgeleiderproducten.IC-verpakkingen (kopersubstraat), zilvergel, silicagel, epoxyhars), glassubstraat en andere producten.
 
Kerntechnologie:
01 Hoge capaciteit horizontale luchtcirculatie warmluchtsysteem om een hoge temperatuur uniformiteit prestaties te bereiken
02 De kamer is volledig afgesloten, met roestvrij staalplaat, met goede luchtdichtheid, stikstofbesparing
03 Hoog vermogen, hoge temperatuur bestand lange as motor, en grote grootte turbine blad, dat stabiel kan werken in hoge temperatuur omgeving voor een lange tijd
04 De verwarmingssnelheid is controleerbaar, één toetsenoperatie voor het instellen van het procesprofiel, met koelsysteem voor koeling, wat de productie-efficiëntie effectief kan verbeteren
05 Hoogprecisie temperatuurregelaar, PID-instelling, de controle nauwkeurigheid kan 0,5°C bereiken, betrouwbare bediening, veilig gebruik
06 Efficiënte zuivere behandeling, duizendgrade-ouderingstest in een schoonruimte om aan de eisen van stofvrije werkplaatsen en producten voor halfgeleiders te voldoen
07 Beheersing van het zuurstofgehalte, real-time monitoring, dubbelkanaal analysesysteem het zuurstofgehalte kan binnen 50 PPM worden gecontroleerd
 
Productkenmerken:
Semi-conducteurovenkamerstructuur
De bovenste en onderste dozen zijn uitgerust met een warmluchtcirculatiesysteem, de luchtsnelheid en het volume kunnen worden aangepast en verschillende procesparameters kunnen onafhankelijk worden bediend.De oven is gemaakt van hoogwaardig roestvrij staalDe oven is voorzien van gelaagde beugels om de ruimte beter te benutten.

SELF-CONDUCTOREN OVEN NITROGEN SYSTEM
Stikstofvulling in de kamer, voorzien van meerdere stroommeters, met onafhankelijke instelfunctie, om een redelijk gebruik van stikstof en een evenwichtige verdeling te garanderen.met een vermogen van niet meer dan 10 kg, real-time monitoring van de zuurstofgehaltewaarde in de bovenste en onderste kamers, kan afzonderlijk worden gecontroleerd, het zuurstofgehalte van een enkele kamer kan binnen 500PPM worden gecontroleerd (optie:binnen 100 ppm).
 

Semi-geleideroven koelsysteem
Het systeem voor waterkoeling is toegepast. Vingerradiaatorspoelwaterkoeling, wanneer de temperatuur in de oven afkoelt, zal de blazer snel warmte uitwisselen door de vingerradiaators,het verkort de koelingstermijn aanzienlijkUniek koelsysteem, vermijdt onmiddellijke koeling stoom uitbreiding bij hoge temperatuur, die effectief de kwaliteit van het product te beschermen.

SCHUTTSSYSTEM VAN DE VEILIGHEID VAN HELFLEIDEREN
Met overtemperatuurbescherming (om te voorkomen dat de studio-temperatuur te hoog is en het product te beschermen), wordt de stroom onmiddellijk afgesloten wanneer de overtemperatuur zich voordoet,tegelijkertijd, een alarm om het personeel eraan te herinneren, een betere bescherming van de producten; controle en bescherming van overmatig zuurstofgehalte; bescherming tegen stikstoflaagdruk;de bovenste en onderste dozen zijn voorzien van elektronische veiligheidssloten, en de apparatuur heeft een noodstopknop.

Test van de helderheid van de halfgeleideroven
Na de test is de concentratie van deeltjes van 0,5 μm ≤ 35200, wat voldoet aan de productievereisten van een zuivere workshop zonder stof van de klasse duizend.

Test van het temperatuurprofiel van de halfgeleideroven
Hoge precisie temperatuurcontroller, PID-regulatie, hoogcapaciteit horizontale luchtcirculatie warmlucht systeem, dat hoge prestatie temperatuur uniformiteit kan bereiken.

 
Productparameters:

 
Vermelding:
1.Gasbronvereisten: stikstofwerkdruk (druk tijdens het gebruik) > 0,5-0,8Mpa, stikstofzuiverheid 99,999%.
2Vermogensbehoeften:
1Driefasige vijfdraad: spanning 380V, frequentie 50/60HZ;
2 Draaddiameter groter dan 25 mm2, lekkagebeveiligingsschakelaar 100A, lekkagebeveiligingsschakelaar 150-200mA.
3.Verdrag inzake de bodemdruk: 1000 kg/m2.
4.Externe ventilatievereisten: luchtleiding met een buitendiameter van 2-Ø38 mm, ventilatievolume van 2*5M3/min;
5Omgevingsvereisten: de omgevingstemperatuur moet tussen 5 en 40°C liggen en de relatieve luchtvochtigheid tussen 20 en 95%.